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納米壓印機和納米壓印技術全套方案

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NANONEX光刻機系列

 
NX-B100/200

Lumina-200 多功能高精度光刻機 [pdf]

NX-1000

Lumina-210 多功能高精度光刻機加背面對準功能

NX-2000

NX-2600 多功能整片基板帶對準功能多層次的納米壓印和高分辨率光刻系統 [pdf]

     
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